Japan Society of Next Generation Sensor
Technology
| センサ・アクチュエータ・マイクロマシン／ウィーク2008 総合シンポジウム |
日 時： ２００８年４月２３日[水]－２５日[金]
場 所： 東京ビッグサイト 会議棟７Ｆ・７０３号室 （江東区有明3-21-1）
主 催： 次世代センサ協議会 
テーマ： ニーズとシーズの出会い
協 力： フジサンケイ ビジネスアイ
協 賛： [社]電気学会、[社]電子情報通信学会、[社]応用物理学会、[社]電気化学会、センシング技術応用研究会、日本赤外線学会、
[社]計測自動制御学会、[社]日本生体医工学会、[社]レーザー学会、[社]精密工学会、[社]日本機械学会、[社]日本ロボット学会、
ＩＥＥＥ東京支部、[社]日本技術士会、日本真空協会、[財]マイクロマシンセンター、[社]未踏科学技術協会バイオ・ナノテクフォーラム、
マイクロ･ナノマシン研究会、日本信頼性学会、[社]日本分析化学会、環境ホルモン学会、[財]光産業技術振興協会、
[社]日本計量機器工業連合会、[特活]安全工学会、[社]日本電気計測器工業会 （一部依頼中）
同時開催： Sensor Expo Japan センサエキスポジャパン2008
| プログラム |
| 4.23 wed. | Session.1 | マイクロ･ナノ技術Ⅰ MEMSビジネスの成功要因を探る 座長：大和田邦樹氏 MEMSビジネスは最近、市場環境の変化とともに新たなる成長段階に入ってきた。本セッションではMEMSビジネスの成功要因を探るため、MEMSビジネスの最新動向と競争条件の変化、MEMS発振器ビジネスの次の展開、半導体を超えたMEMS市場の広がりについて紹介する。 |
| 10:00-11:00 | “大競争時代”に投入するMEMSビジネス MEMSビジネスの最新動向と競争条件の変化について紹介する。特に、電子、機械、化学、バイオなど多様な領域を技術的に融合でき、さまざまな業界のプレーヤを同じ土俵で競争させ得るMEMSの特質に着目する。 日経BP社 日経マイクロデバイス編集 副編集長 三宅常之氏 |
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| 11:00-12:00 | MEMS発振器の小型化・高性能化による更なる発展 MEMS発振器はクリーニングと封入技術の発展により量産化された。さらに小型化と低ノイズ化、SSCG機能、多チャンネルなどの多機能を追加する段階となった。超小型で高性能なSi製クロツク時代の幕明けである。 [株]マクニカ 製品企画部 部長 向中野浩志氏 |
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| 12:00-13:00 | MEMS市場の広がり "Beyond The Semiconductor" MEMS技術は次なる半導体市場の成長を担う新たな技術として期待されつつあり、その成長率も極めて高い。それぞれのシステム、アプリケーションで“プラグ＆プレイ”を可能とするコンポ化商品への取り組みを紹介する。 オムロン[株] セミコンダクタ統括事業部マイクロデバイス事業部 部長 関口義雄氏 |
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| 4.23 wed. | Session.2 | マイクロ・ナノ技術II MEMSデバイス最先端 座長：大和田邦樹氏 MEMSデバイスはセンサ、アクチュエータ、マイクロパワーデバイス等様々な分野に応用が進んできた。本セッションでは最先端の研究開発例として、マイクロアクチュエータの位置決め機構、ナノメートルスケールでの記録・加工のためのナノプロセッシングMEMS、携帯機器やロボットの電源に応用されるパワーMEMSについて紹介する。 |
| 14:00-15:00 | マイクロアクチュエータの位置決め機構への応用 マイクロセンサと同様、様々なニーズと結びついて展開しようとしているマイクロアクチュエータについて、“ものを動かす”という観点から位置決め機構をテーマに、演者が研究開発中のECLIAというアクチュエータとその応用について報告する。 立命館大学 理工学部マイクロ機械システム工学科 教授 小西 聡氏 |
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| 15:00-16:00 | ナノプロセッシングのためのMEMS MEMSの要素を複数個並べて並列動作させると、ナノメートルのスケールで記録や加工を行える。AFMのプローブアレイによる高密度記録技術や複数の電子源を並べたリソグラフィーデバイスに関して報告する。 東北大学 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 准教授 小野崇人氏 |
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| 16:00-17:00 | パワーMEMS 携帯機器やロボットに小形発電デバイスを搭載して、長時間駆動や瞬間エネルギー充填を実現する。電池不要の無線センサによって、建造物や機械を監視する。このようなイノベーションを目指すパワーMEMSを紹介する。 東北大学 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 准教授 田中秀冶氏 |
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| 4.24 thu. | Session.3 | 携帯電話向けセンサ－携帯電話に搭載されるセンサ、アクチュエータの動向を探る 座長：福永和男氏 携帯電話の高機能化は留まることを知らないが、容積の制限からこれに搭載されるセンサ・アクチュエータは先端技術の粋を集めるものである。今回新しく設けたこのカテゴリーにおいて、MEMS技術をこめたセンサ製品や携帯電話の付加機能の動向について、各メーカーから紹介する。 |
| 10:00-11:00 | MEMSセンサの携帯電話への応用 MEMSセンサのマーケットは、ここ数年急激に拡大しており、引き続き高い成長が見込まれている。ゲームに続くマーケットとして期待されている携帯電話について、各種MEMSセンサの応用事例を説明する。 STマイクロエレクトロニクス[株] APMグループ プロダクト・マーケティングMEMS製品担当 大内 篤氏 |
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| 11:00-12:00 | 携帯電話向けMEMSマイクロフォンの動向 携帯電話に搭載されるエレクトレットコンデンサマイクロフォン（ECM)は、耐熱性や強度に課題を持つ。これを克服し、基板へのリフロー実装が可能で需要が急拡大しているMEMSマイクロフォンの動向を紹介する。 オムロン[株] セミコンダクタ統括事業部マイクロデバイス事業部MEMS開発部 西尾英俊氏 |
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| 12:00-13:00 | 携帯電話とセンサ・アクチュエータについて 最新の携帯電話は、ワンセグ、おサイフ機能、GSM、GPS等が搭載され、生活インフラとなってきている。携帯電話に必要なセンサと、今後のセンサ・アクチュエータの携帯電話への応用例について提案する。 [株]エヌ・ティ・ティ・ドコモ 研究開発本部移動機開発部 村田 充氏 |
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| 4.24 thu. | Session.4 | ナノバイオデバイスの新展開－バイオデバイスはナノテクノロジーの運用で変貌するのだろうか？ 座長：石森義雄氏 省エネ・省資源・省スペースなどの観点からバイオデバイスに対する期待は高い。しかし実用化レベルまで進んでいるものは数えるほどである。ナノテクノロジーを上手く使うことで実用化への大きなブレークスルーになり得ないだろうか？ |
| 14:00-15:00 | ナノバイオデバイスの新展開 ナノ構造制御により作成されるバイオデバイスについて紹介する。シングルカーボンナノチューブFETデバイスやナノホールアレイ基板に金を配置したデバイスに抗体分子やDNA分子を固定化しバイオセンシングを実現した。 大阪大学 大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻 教授 民谷栄一氏 |
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| 15:00-16:00 | マイクロ・ナノ流体デバイスのバイオ・化学分野への応用 マイクロ・ナノ流体デバイスはMicroTASやBioMEMS関連の化学やバイオの分野で期待されているが、集積化やシステム化、あるいは製造技術の問題、スケールに特徴的な現象の解明等の課題もある。 千葉大学 大学院工学研究科共生応用化学専攻 教授 関 実氏 |
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| 16:00-17:00 | 健康・医療・環境センシング・バイオロジーのための新規モニタリング用センサデバイス 本講演では、生化学モニタリングによる「センシング・バイオロジー」の研究を目的に、新たに開発したウエアラブル化学センサや生体臭計測用バイオスニファー、ユビキタス計測などのデバイス技術を紹介し、健康・医療・環境への応用展開を解説する。 東京医科歯科大学 生体材料工学研究所システム部門計測分野 教授 三林浩二氏 |
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| 4.25 fri. | Session.5 | 自動車用センサ－環境・省エネ対応センサ－ 座長：室 英夫氏 自動車用センサのセッションでは今回も「環境・省エネ」をテーマにして、現在のガソリン・エンジン高性能化のキーとなるエアフローセンサや将来のFCVのための水素センサについて技術概要・開発動向等について紹介する。 |
| 10:00-11:00 | 自動車用エアフローセンサの現状と今後 地球環境保全の観点から自動車排気ガスは、益々厳しく規制されてきている。この中で、自動車のエンジン燃焼システムに重要な空気流量計（エアフローセンサ）について、現状と今後について述べる。 [株]日立製作所 オートモティブシステムグループ 電子統括本部電子設計本部 副本部長 石川人志氏 |
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| 11:00-12:00 | 水素センサの現状と今後 水素利用自動車の実用化開発が急速に進展しており、その安全性を確保する水素センサの開発が望まれている。自動車用センサに望まれる仕様を想定し、現在の水素センサの研究開発と今後の展開を紹介する。 岡山大学 大学院自然科学研究科産業創成工学専攻 教授 塚田啓二氏 |
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| 12:00-13:00 | センサ製品における貼りつき不良とその対策について 可動部分を持つMEMSデバイスで起こる貼りつき不良について、そのメカニズムと対策を紹介する。特に使用中に起こる不良について、新たに見出した現象と、それらを低減するための重要な注意点を結論として示す。 東北セミコンダクタ[株] デバイス・イールド技術部デバイス・イールド技術1課 大井英生氏 |
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| 4.25 fri. | Session.6 | 構造物のヘルスモニタリング－社会インフラの劣化診断技術－ 座長：島田芳夫氏 鉄道・道路・橋・トンネル・電気水道などの生活インフラやプラント・発電所・大型建造物などの社会インフラさらには土砂崩壊などの災害対策など、万一事故が発生すると社会活動全体に大きな影響の出る施設・設備を適切に計測・診断し、保守管理の適正化、余寿命評価と損傷・破壊の早期兆候監視の重要性が高まってきている。今回は社会基盤の監視モニタ技術向上を狙うシリーズの初回として位置づけた講演を開催する。 |
| 14:00-15:00 | 都市空間の安全安心問題とセンシング 交通・エネルギーなどの社会インフラ施設と、それらが構成する都市空間にとって、迅速（speed）、安全（safe）、安心（security）、常時・非常時を含めた高いサービス（service）の4つのSを継続して提供することはますます重要な課題となっています。このため、その阻害要因となるハザードの影響やインフラ自体の脆弱性などを、統合的なセンシングシステムによってリアルタイムで把握することもまた重要視されている。センシングによるデータ（知）を、何のために得て、どう活かすか（動）というニーズ・アクション側からとらえ、センシングをインフラの一部とする「知動化空間」の実現に向けての今後、なすべきことを議論したいと思う。 東京大学 大学院工学系研究科社会基盤学専攻 教授 藤野陽三氏 |
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| 15:00-16:00 | 光ファイバセンシング技術を活用した各種モニタリングシステム 光ファイバセンシングは、従来方式にない多くの利点を有している。この特長を活かしたモニタリングシステムの具体的事例（構造物の維持管理分野や防災分野）を紹介し、今後の普及に向けた課題について考える。 エヌ・ティ・ティ・インフラネット[株] 事業開発本部事業開発部門 部門長 藤橋一彦氏 |
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| 16:00-17:00 | コンクリート構造物の構造ヘルスモニタリング センシング技術の発展に伴いコンクリート構造物の構造性能の把握および損傷検知を目的に、幾つかのセンサシステムが提案されている。それらのセンサシステムの概要と当社で開発しているセンサシステムの概要を報告する。 [株]ジャスト 調査診断第二部 部長 柳瀬高仁氏 |
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